目前，國內外使用的原子熒光光度計普遍都是蒸氣發生–非色散原子熒光光度計，所以，主要介紹蒸氣發生–非色散原子熒光度計的結構。這種儀器主要由激發光源、原子化器、蒸氣發生系統(進樣系統和氣液分離器)、光學系統和檢測系統構成。
 

　　(1)激發光源
 

　　激發光源是原子熒光光度計的一個重要組成部分，原子熒光光譜分析的發展歷程中激發光源從來都是一個重要的研究方向。
 

　　從本質上說，原子熒光光譜分析就是一種光激發光譜的技術，在某種固定條件下，原子熒光強度與激發光源的發射強度成正比關系。
 

　　在發展過程中激發光源使用的種類有：空心陰極燈、高性能(雙陰極)空心陰極燈、汞的空心陰極燈、無極放電燈和激光光源。
 

　　現在使用較多的是高性能空心陰極燈和汞的空心陰極燈。高性能空心陰極燈主要由陽極、陰極和輔助電極構成，它的優點是特征譜線強度高、分析靈敏度高、檢出限低、預熱時間短、穩定性好和結構簡單，As、Sb、Bi、Ge、Se等主要使用這種燈。
 

　　Hg使用燈的不同，汞的空心陰極燈具有蒸氣放電燈和空心陰極燈的特點。同樣汞燈發光現象與其它元素燈也不同，屬于特別的汞線光譜光源。
 

　　(2)原子化器
 

　　原子化器在原子熒光光譜分析中起到非常重要作用，它的作用是把樣品中待測元素轉化為基態原子，所以原子化器的好壞直接影響儀器分析的靈敏度，從而影響儀器的性能。目前，普遍使用的原子化器都是低溫石英爐原子化器。
 

　　低溫石英爐原子化器只要在石英爐管口安裝一圈低溫爐絲就可，反應產生的待測元素的氫化物和氫氣被帶入到石英爐管口時就可自動點燃形成氬氫火焰。
 

　　由于汞元素特殊，測定汞元素的時候，不用點燃低溫電爐絲，采用紅外加熱方式，將石英爐原子化器加熱到100℃，然后使用低濃度的(鉀)與酸性介質的樣品溶液反應產生氣態汞原子，在沒有氬氫火焰的狀態下進行檢測，得到非常好的分析結果。
 

　　(3)蒸氣發生反應系統
 

　　蒸氣發生反應系統是現在原子熒光光譜儀主要應用的反應系統。
 

　　它的基本原理是運用蒸氣發生技術使還原劑(NaBH4或KBH4)與酸性介質下的樣品的溶液發生化學反應，使之生成的共價氫化物元素As、Bi、Ge、Pb、Sb、Se、Sn、Te等、揮發性化合物元素Cd和Zn、蒸氣態Hg原子，和在這個過程中產生的氫氣都經載氣(Ar)通入到原子熒光光譜儀的原子化器中形成的氬氫火焰中進行原子化，經氬氫火焰離解成待測元素的原子，然后受到激發光源得特征光譜照射后，受到激發到高能態后去激發再回到基態時發射出原子熒光。
 

　　這些不同波長的原子熒光的光信號，經過光電倍增管把光信號轉變成電信號，經檢測系統、數據處理，最終檢測出待測樣品中待測元素的含量。
 

　　蒸氣發生法包含汞蒸氣發生法(mercuryvapourgeneration)、氫化物發生法(hydridegeneration)和揮發物發生法(volatilecompoundgeneration)。
 

　　其中汞蒸氣發生法中化學還原–低溫蒸氣法測定汞元素是國內外*的并使用的方法，其優點是化學干擾少，干擾離子在低濃度還原劑條件下不產生干擾和分析靈敏度高，樣品重現性較好。
 

　　氫化物發生法中的硼氫化物–酸還原體系的應用給原子熒光光譜分析中As、Bi、Ge、Pb、Sb、Se、Sn和Te元素的檢測開辟了新途徑。
 

　　主要的應用范圍是主要是周期表中ⅣA、ⅤA、ⅥA族的As、Bi、Ge、Pb、Sb、Se、Sn和Te元素；ⅡB族的Hg、Cd和Zn元素非常適合蒸氣發生–原子熒光光譜法的分析測定。
 

　　Hg和Cd亦可以應用低溫蒸氣(無火焰)原子熒光光譜法進行分析檢測。
 

　　近些年，隨著(鈉)酸反應體系在氫化物發生法上的應用，直接傳輸方式迅速發展起來，載氣(Ar)把蒸氣發生反應產生的揮發性化合物、氣態氫化物和氫氣導入原子化器中。蒸氣發生反應系統由兩部分組成，它們分別是進樣系統和氣液分離系統。
 

　　(4)光學系統
 

　　原子熒光光度計可同時測量多種元素與它的光學系統有關。
 

　　(5)檢測系統
 

　　檢測系統由光電倍增管和檢測電路兩部分組成。蒸氣發生–原子熒光光度分析是通過光電倍增管把光信號轉換為電信號的，通過前置放大器、主放大、同步解調以及積分器等系列信號接收、處理，然后用計算機對數據進行分析、處理、計算。